※ 본글은 오로스테크놀로지 사업보고서와 공개자료를 토대로 작성되었습니다.
1 오로스테크놀로지
기업명 : 주식회사 오로스테크놀로지 (AUROS TECHNOLOGY, INC.)
법인설립 : 2009년 3월 27일
대표자 : 이준우
주소 : 경기도 화성시 동탄산단6길 15-23
주업종 : 반도체용 장비 제조
전화번호 : 031-8046-8800
홈페이지 : http://www.aurostech.com
오로스테크놀로지는 벤처기업육성에 관한 특별조치법 제25조의 규정에 의한 벤처기업에 해당됩니다.
2 오로스테크놀로지 주요사업
오로스테크놀로지는 반도체 제조 전공정 중 노광공정 장비인 반도체 Wafer의 MI(Metrology, Inspection) 장비 제조를 주력 사업으로 영위하는 업체입니다.
1. 주요사업 시장 규모 및 전망
코로나 이후 자동 산업의 성장성이 부각됨으로 반도체 산업도 같이 성장할 것이라는 전망이 지배적입니다. 오로스테크놀로지의 주력 제품인 오버레이 계측 장비의 글로벌 시장규모는 약 6,500억원 규모로 추산되며, 2024년까지 약 9,700억원 규모로 확장될 것으로 예상되고 있습니다.
반도체 공정은 약 600개의 단계로 구성되며 단계별 전용장비가 필요하고 모든 공정 장비의 가격은 30~100억 수준으로 고부가가치 산업입니다.
오로스테크놀로지의 Overlay 전문 계측 장비 시장은 미국 계측 장비 회사인 KLA가 60% 정도의 시장점유율을 가지고 있으며, 오로스테크놀로지의 직접적인 경쟁 상대입니다.
2. Overlay 전문 계측 장비
Overlay 계측 장비는 반도체 공정에서 전기신호를 전달하기 위해 여러 층으로 적층되는 패턴이 제대로 정렬 됐는지를 측정하는 역할을 합니다.
반도체 제조공정의 가장 수준 높은 기술난이도를 가지는 노광공정에 대한 모니터링과 제어 기능을 제공합니다. 특히 미세화 공정이 심화되고 있어 기술장벽이 급격히 높아지는 장비입니다.
3. 후공정 Overlay & Critical Dimension(CD) 계측 장비
TSV(Through Silicon Via)라는 후공정에서 사용되는, 웨이퍼 상에 형성된 패턴으로 광을 조사하고, 상기 조사된 광이 상기 패턴에 반사되면 그 빛과 초기 설정 값 사이의 비대칭한 정도를 수치화 하는 장비입니다.
4. 오로스테크놀로지의 경쟁력
국내 최초로 Overlay 계측 장비 국산화에 성공하였고, 국내외 40여개의 특허를 보유하고 있는 등 핵심 자체개발 기술을 보유하고 있습니다.
5. 연구개발
박사(2명), 석사(15명), 학사(21명) 총 38명의 인원이 연구개발하고 있습니다. 2020년 기준 매출액 대비 25.42%의 연구개발비를 사용했습니다.
4 오로스테크놀로지 주요연혁
- 2012년 : 종합반도체업체 고객으로부터 대량생산 수행 평가 인증 획득
- 2012년 : 오버레이측정장비 중국 진출
- 2012년 : 차세대세계일류상품 선정
- 2013년 : 2세대 오버레이측정장비(OL-600n) 출시
- 2014년 : 특허청 직무발명보상 우수기업 선정
- 2014년 : 일본 동경 영업소 설립
- 2015년 : 3세대 오버레이측정장비(OL-700n) 출시
- 2016년 : ISO9001/14001 및 OHSAS18001 인증서 획득
- 2017년 : SK하이닉스 기술혁신기업 선정
- 2017년 : 1세대 웨이퍼 오버레이측정장비 출시(OL-100n)
- 2017년 : 4세대 오버레이측정장비(OL-800n) 출시
- 2019년 : 반도체 오버레이 계측기 세계일류상품 선정
5 요약
국내 유일의 반도체 전공정 오버레이 측정장비 국산화에 성공한 기업입니다.